. Electron microscopy; proceedings of the Stockholm Conference, September, 1956. Electron microscopy. 77 S. LEISEGANG UND O. SCHOTT Dann folgt aus Gl. (3) fijr die Verweilzeit t ^ 2- 10"^ sec und mit der groBenordnungsmaBig sicher richtigen Annahme =t 1 A fiir den Partialdruck p ^ 5- \0~^'^ mm Hg. Die Verweilzeit ist also relativ sehr groB, der Partialdruck der die Verschmutzung erzeugenden Diimpfe auBerordentlich klein. Als unsichere Faktoren enthalt Gl. (3) den Wert von R, ein um den Faktor 4 kleineren Radius, der als minimaler Wert gelten kann, fiihrt zu einem um den Faktor 16 groB


. Electron microscopy; proceedings of the Stockholm Conference, September, 1956. Electron microscopy. 77 S. LEISEGANG UND O. SCHOTT Dann folgt aus Gl. (3) fijr die Verweilzeit t ^ 2- 10"^ sec und mit der groBenordnungsmaBig sicher richtigen Annahme =t 1 A fiir den Partialdruck p ^ 5- \0~^'^ mm Hg. Die Verweilzeit ist also relativ sehr groB, der Partialdruck der die Verschmutzung erzeugenden Diimpfe auBerordentlich klein. Als unsichere Faktoren enthalt Gl. (3) den Wert von R, ein um den Faktor 4 kleineren Radius, der als minimaler Wert gelten kann, fiihrt zu einem um den Faktor 16 groBeren Wert fiir t und damit nach Gl. (10) zu einem um den Faktor 16 kleineren Wert von p. AuBerdem ist p noch proportional zum nur groBenordnungsmaBig bekannten Abstand Die Objektverschmutzung als Funktion der Tem- peratur wurde von Ennos [3] bei einer Stromdichte von 0,01 A cm- im Bereich von 50 bis 200 C ge- messen. In diesem Bereich lassen sich die Messungen wie- dergeben durch die Beziehung: ViT) = Fâexp(-r/râ), T = Temperatur CK), râ =- const =^ 84°K. (11) Es sei angenommen, daB diese Beziehung im ganzen interessierenden Bereich 300'K < T < lOOO'K gelte. Die wesentlich temperaturabhangige GroBe in Gl. (3) und (10) ist die Verweilzeit r. Die Objektver- schmutzung als Funktion von Stromdichte und Tem- peratur V{j, r)sollte sich dann darstellen lassen als: t{T) -exp - 7 y T(T) Jo '^z (12) Tz, ^z = Werte von T und t beiZimmertemperatur. FiJry = 0,01 A cm- soil die von Ennos gemessene Beziehung (11) Bild 2. Objektverschmutzung Tals Funktion von Stromdichte j und Temperatur 7" (nach Formel (12)). + + = Temperaturabhangigkeit bei J -= 0,01 A cm- nach Ennos. O O = Stromdichteabhangigkeit bei T 300°K nach Bild 1. Mit diesen Annahmen kann die Funktion r (T) und damit aus Gleichung (12) die Verschmutzung als Funktion von Stromdichte J und Temperatur T, V (j, T) berechnet werden. Die Ableitung der Formeln ist in Anhang I gege- ben, das Ergebnis der Rec


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