Jülich, Forschungszentrum, Im Oxid-Cluster können die empfindlichen Oxidschichten für neue Logik- und Speicherelemente während des Wachstums und unmit
Jülich, Forschungszentrum, Im Oxid-Cluster können die empfindlichen Oxidschichten für neue Logik- und Speicherelemente während des Wachstums und unmittelbar nach verschiedenen Schaltvorgängen untersucht werden.
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