Electron microscopy; proceedings of the Stockholm Conference, September, 1956 electronmicrosco00euro Year: 1957 Ein ncues clcktrostatisches Gehrauchs-Elektronenmikroskop 35 Fig. 1. Das neue elektrostatische Elektronenmikroskop. ohne besonderen Aufwand schnell durchgefuhrt werden kann. Das Objektiv ist mit einemZwischenbeschleuniger (3) ausgeriistet. Die Elektronen laufen nach dem Verlassen der Kathode auf eine kiifigformige Elektrode zu, die ebenso hoch positiv geladen ist, wie die Kathode negatives Potential gegenuber Erde besitzt. In ihrem Innern, also im feldfreien Raum, befindet sich
Electron microscopy; proceedings of the Stockholm Conference, September, 1956 electronmicrosco00euro Year: 1957 Ein ncues clcktrostatisches Gehrauchs-Elektronenmikroskop 35 Fig. 1. Das neue elektrostatische Elektronenmikroskop. ohne besonderen Aufwand schnell durchgefuhrt werden kann. Das Objektiv ist mit einemZwischenbeschleuniger (3) ausgeriistet. Die Elektronen laufen nach dem Verlassen der Kathode auf eine kiifigformige Elektrode zu, die ebenso hoch positiv geladen ist, wie die Kathode negatives Potential gegenuber Erde besitzt. In ihrem Innern, also im feldfreien Raum, befindet sich das zu untersuchcnde Objekt. Betragt die Kathodenspannung z. B. 35 kV, so durchsetzen die Elektronen das Objekt mit 70 keV. AnschlieBend laufen sie gegen eine geerdete Elek- trode, wodurch ihre Geschwindigkeit wieder auf 35 keV vermindert wird. Wir haben damit hohe Geschwindigkeit der Elektronen nur im Objekt, wo sie wegen ihrer besseren Durchdringungsfiihigkeit zweckmiissig ist. Auf dem Leuchtschirm und auf der Photoplatte kommen die Elektronen dagegen mit geringerer Geschwindigkeit an, so daB sie dort einen gUnstigen Wirkungsgrad besitzen. Die fiir den jeweiligen Zweck giinstigste Elektro- nengeschwindigkeit am Objekt liiBt sich bei dem Gerat einfach einstellen, da man sie zwischen 40 und 75 keV bequem variieren kann, ohne daB dabci eine Veranderung der elektronen-optischen VergroBerung des Bildes eintritt. Durch die Verwendung des Zwischenbeschleuni- gers hat man den weiteren Vorteil der geringeren Isolationsschwicrigkcitcn. die sich sonst bei Span- nungcn iiber 50 kV unangonchni bemerkbar machen und die bishcr die Elektronengeschwindigkeit der elektrostatischen Geriite auf 50 keV begrenzten. Die Projektionsoptik besteht aus ciner ncuartigen Vierelektrodenlinsc (..Rcgcllinse') (6) sowie aus einer iiblichen Drciclcktrodonlinse (,,Projcktiv''). Wiih- rend das Projektiv nur cine spannungsfuhrende Elektrode zwischen den beiden Erdelcktroden be- sitzt, hat die Vierclcktrodcniinse
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